1997年，沁县人口约17万人。辖4个镇、17个乡：城关镇、故县镇、郭村镇、新店镇、段柳乡、漳源乡、次村乡、南泉乡、南涅水乡、西汤乡、樊村乡、松村乡、羊庄乡、南里乡、南仁乡、迎春乡、册村乡、漫水乡、南池乡、待贤乡、杨安乡。县政府驻城关镇。（319个行政村）
2000年第五次人口普查，沁县常住总人口169959人，其中，城关镇34511人，郭村镇12459人，故县镇8876人，新店镇6157人，樊村乡6394人，段柳乡9621人，迎春乡10099人，松村乡11028人，次村乡4774人，漫水乡4991人，漳源乡8925人，羊庄乡5209人，西汤乡3110人，南涅水乡3968人，南里乡8963人，册村乡10014人，南仁乡4705人，南泉乡3071人，杨安乡3643人，南池乡5297人，待贤乡4144人。
2001年区划调整后，全县辖6个镇、7个乡：定昌镇、郭村镇、故县镇、新店镇、漳源镇、册村镇、段柳乡、松村乡、次村乡、牛寺乡、南里乡、南泉乡、杨安乡。
2010年第六次人口普查，沁县常住总人口172205人，其中，定昌镇57064人，郭村镇11026人，故县镇13003人，新店镇14838人，漳源镇13367人，册村镇13184人，段柳乡15266人，松村乡10506人，次村乡3871人，牛寺乡6064人，南里乡7941人，南泉乡3038人，杨安乡3037人。
2015年末，沁县辖6个镇、7个乡（合计13个），6个居委会、306个村委会（合计312个）。
