民国二年（1913年）废府存县，改为沁阳县，因在沁河之北，故名（按县署地在沁河之南，当为"沁阴"，因为汉明帝封沁水公主于斯地，公主之庄园"沁园"在沁水之北，即沁水之阳）。先后属河南省豫北道、河北道及第四行政督察区。1949年建国后，改属平原省新乡专区，1952年平原省建制撤销，改属河南省新乡专区，1986年改属焦作市。
1989年9月27日经国务院批准，撤销沁阳县，设立沁阳市。沁阳市直属于河南省，由焦作市代管。
1997年，沁阳市面积623.5平方千米，人口42.7万，辖4个街道、6个镇、6个乡：覃怀街道、怀庆街道、沁园街道、太行街道，柏香镇、崇义镇、西万镇、西向镇、紫陵镇、山王庄镇，木楼乡、王曲乡、葛村乡、王占乡、常平乡、王召乡。市政府驻覃怀街道。
2000年第五次人口普查，全市总人口446404人，其中：沁园街道30988人、怀庆街道28587人、太行街道27400人、覃怀街道24676人、西向镇58569人、西万镇36290人、柏香镇34717人、山王庄镇28913人、紫陵镇26876人、崇义镇33802人、王召乡29430人、木楼乡17718人、王占乡17613人、葛村乡22517人、王曲乡19665人、常平乡8643人。
2005年，沁阳市乡镇区划调整：撤销王占乡，将其行政区域划归王曲乡管辖，王曲乡政府驻地为中王占村；撤销木楼乡，将其行政区域划归王召乡管辖，王召乡政府驻地不变；撤销葛村乡，将其行政区域划归柏乡镇管辖，柏乡镇政府驻地不变，辖区面积83.2平方千米，人口5.9万人。截至2005年12月31日，沁阳市辖4个街道、6个镇、3个乡：太行街道、沁园街道、怀庆街道、覃怀街道；崇义镇、柏香镇、山王庄镇、紫陵镇、西向镇、西万镇；王召乡、王曲乡、常平乡。
